四甲基氫氧化铵

  • 英(yīng)文: Tetramethylammonium hydroxide
  • CAS号: 75-59-2
  • 别名(míng): 顯影液;四甲基氫(qīng)氧化铵溶液;TMAH;TMAOH
  • 化學(xué)式(shì): C4H13NO
  • 分(fèn)子量: 91.15
  • 其他(tā)參數: 1835

産品詳情

外觀

無色結晶(常(cháng)含三、五等(děng)結晶水),熔點68-71℃,極易吸潮,在空氣中能迅速吸收二氧化(huà)碳(tàn),130℃時分解爲甲醇和三甲胺,通常使用有(yǒu)10%;25%水(或醇)溶液和含(hán)結晶水化合物。

理化特性

密度: 1.016 (25% 水溶液) 

折射率 :1.3806

儲存

儲存于陰(yīn)涼、幹燥、通風的庫房,保持容器密封

儲存條(tiáo)件:2-8°C


用途(tú)

在有機矽(xī)片生産中常用作光亮劑、清洗劑和觸刻劑等;在電路闆的印刷和顯微鏡片的制造中,可作爲集成電路闆的清洗劑和半導(dǎo)體微加工中的各(gè)向異性腐蝕劑。用作CMP過程清洗劑、IC.vlsi及(jí)TFI-LCD正膠顯(xiǎn)影劑。用作極譜試劑。

安全

1、建(jiàn)議應急處(chù)理人員佩戴自吸(xī)過濾式防毒面(miàn)具,穿耐酸堿防護服,戴氟橡(xiàng)膠手套。操作處置應在具備局部通風或全面通風換氣設施的場所進行。避免眼和皮膚的接觸,避免吸入蒸汽。

2、搬運時要輕裝輕卸,防止包裝及容器損(sǔn)壞。配備相應品種和數量的消(xiāo)防器材及洩(xiè)漏應急處理(lǐ)設備。

包裝規格

200KG/塑桶  |  1000KG/塑桶

質(zhì)量标準

含量w/%:25%(水溶液)  |  25%(甲醇溶(róng)液)

可(kě)定制AR、CP、電子級、電鍍級(jí)特定含量産品

指标:協商定制


BZY033 – 2019  四甲基氫氧化(huà)铵

指标名稱(chēng)


特定級


含量,w / %


≥25.0


碳酸鹽(以CO3計),w / %


≤0.05


氯化物(Cl),w / %

甲醇,w / %


≤0.001

≤0.03


鈉(Na),w / %

鎂(měi)(Mg),w / %

鉀(K),w / %

鈣(Ca),w / %

鐵(Fe),w / %


≤0.000 1

≤0.000 1

≤0.000 1

≤0.000 1

≤0.000 1